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德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺

更新時間:2024-05-16

訪問量:1024

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術(shù),掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口產(chǎn)品種類電動
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子,綜合

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL


應(yīng)用領(lǐng)域:

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術(shù)

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量


產(chǎn)品參數(shù):

型號:P-541.ZSL

主動軸:Z

集成傳感器:應(yīng)變片傳感器

-20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:-毫弧度

Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

Z向上的重復(fù)精度:<10納米

θX、θY向上的重復(fù)精度:–微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動):±15微弧度


產(chǎn)品參數(shù):

型號:P-541.TSL

主動軸:Z,θX,θY

集成傳感器:應(yīng)變片傳感器

-20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程:100微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.25微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

Z向上的重復(fù)精度:<10納米

θX、θY向上的重復(fù)精度:0.05微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動):±15微弧度


德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL

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